某半导体企业芯片实验室环境控制

项目概述

为芯片制造企业提供超净实验室环境控制系统，实现 Class 100 级洁净度控制。

项目挑战

芯片实验室对环境要求极为严苛，需实现 Class 100（ISO 5）级洁净度，温度控制精度 ±0.1°C，湿度控制精度 ±1%RH。同时需控制微振动和 AMC（气态分子污染物）。

解决方案

采用 FET-C100 系列超净环境控制柜，配合 FFU + 干盘管方案，实现均匀的气流组织与温湿度分布。系统配备微振动监测模块和 AMC 控制单元。

项目成果

系统各项指标均达到设计要求，洁净度稳定在 Class 100 级别，温度波动控制在 ±0.05°C 以内。为企业的芯片研发提供了可靠的环境保障。